雙室磁控濺射鍍膜機HD-CK1600-ICP是一款高兼容性設備,適合做菲林(NCVM)、車載、攝像頭超硬AR、IR-CUT等濾光片、人臉識等產品;可制備NB2O5,SIO2 ,SI3N4,SIH,Cr,In等不同膜層,鍍膜工藝室不破空,穩定性重復性優異,采取整鼓平移連續的方式。
◆工件轉動:1~120r/min無極可調
◆極限真空:<2.0E-4Pa
◆膜層均勻性: ≤1%(T Max.-Tmin.)/( T Max.+Tmin.)
◆有效鍍膜尺寸:
HD-CK1600-ICP有效濺射區域Φ1600mm*H800mm